苏州盟萤电子科技有限公司
Morewin Technology CO., LTD.
8寸&6寸SMIF Pod Stocker
主要使用在半导体行业8寸&6寸自动化搬运、存储、实现晶圆在制程设备等核心工艺之间流转。
SMIF Pod：半导体制程确保8寸&6寸晶圆在制程站间运送与存储的安全防护容器。
关键技术
- 先进的运动控制系统，走行轴及升降轴全闭环控制，实现精准定位
- 非接触供电系统，无灰尘粒子产生
- 高性能聚氨酯轮胎，低噪音、低发尘、长寿命
- 磁密封伸缩机械手臂，杜绝摩擦，杜绝产生灰尘粒子
内嵌式
外凸式
OHT 对接口
Pod Stocker Crane
产品特点及参数
- 供电方式：滑触线、非接触供电（可选择）
- 最大负载：20kg
- 驱动方式：伺服电机
- 行走运动：行走轮+直线导轨
- 行走速度（max）：2m/s
- 行走加速度（max）：0.98m/s²
- 提升运动：同步带+直线导轨
- 提升速度（max）：1.3m/s
- 提升加速度（max）：0.98m/s²
- 通讯方式：光通讯
产品特点及参数
- 回转运动：3枢轴+谐波驱动
- 回转速度（max）：240°/s
- 回转加速度（max）：0.18m/s²
- FORK伸缩运动：3枢轴+谐波驱动
- FORK伸缩速度（max）：0.8m/s
- FORK伸缩加速度（max）：0.2m/s²
- 货叉重复精度：±0.5mm