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掩膜版存储库
关键技术

  • 全自动Mask（掩膜版）取放及搬送，实现Mask密集化存储
  • Mask低接触面积及防静电技术
  • 洁净等级 Class10@0.3μm

技术规格
G8彩膜掩膜版存储库
  • 负载 : 60kg

G8阵列掩膜版存储库
  • 负载 : 110kg