苏州盟萤电子科技有限公司
Morewin Technology CO., LTD.
FOUP Stocker 封测厂专用
主要使用在封测半导体行业FOUP自动化搬运、存储、实现晶圆在曝光、刻蚀等核心工艺之间流转。
Foup:半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器。
关键技术
- 先进的运动控制系统，走行轴及升降轴全闭环控制，实现FOUP精准定位
- 密封型滑触线系统
- 齿轮齿条传动
- 二级传动手臂设计，成本低
- 洁净等级Class1000
内嵌式
外凸式
OHT 对接口
FOUP Stocker Crane
产品特点及参数
- 供电方式：滑触线、坦克链（可选择）
- 最大负载：20kg
- 驱动方式：伺服电机
- 行走运动：齿轮齿条+直线导轨
- 行走速度（max）：1.6m/s
- 行走加速度（max）：0.8m/s²
- 提升运动：同步带+直线导轨
- 提升速度（max）：0.98m/s
- 提升加速度（max）：0.8m/s²
- 通讯方式：光通讯
产品特点及参数
- 回转运动：DD马达
- 回转速度（max）：180°/s
- 回转加速度（max）：0.18m/s²
- FORK伸缩运动：丝杆+皮带
- FORK伸缩速度（max）：0.4m/s
- FORK伸缩加速度（max）：0.2m/s²
- 货叉重复精度：±0.5mm