苏州盟萤电子科技有限公司
Morewin Technology CO., LTD.
全充氮气 Stocker
主要使用在半导体封测工厂，对FOUP存储环境湿度有要求。
Foup：半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器。
引线框盒：半导体封测工艺铜载板存储盒。
关键技术
- 可自由设置湿度区间
- 实现自动充放氮气
- 配备嵌入式AB门，保压效果持久
- 先进的运动控制系统，走行轴及升降轴全闭环控制，实现FOUP精准定位
- 洁净等级Class100-1000
全充氮气 Stocker Crane
产品特点及参数
供电方式：滑触线、非接触供电（可选择）
最大负载：20kg
驱动方式：伺服电机
行走运动：齿轮齿条+直线导轨
行走速度（max）：1.6m/s
行走加速度（max）：0.8m/s²
提升运动：同步带+直线导轨
提升速度（max）：0.98m/s
提升加速度（max）：0.8m/s²
回转运动：DD马达
回转速度（max）：180°/s
回转加速度（max）：0.18m/s²
FORK伸缩运动：丝杆+皮带
FORK伸缩速度（max）：0.4m/s
FORK伸缩加速度（max）：0.2m/s²
通讯方式：光通讯
货叉重复精度：±0.5mm
