主要使用在半导体行业FOUP自动化搬运、存储、实现晶圆在曝光、刻蚀等核心工艺之间流转。

• 先进的运动控制系统，走行轴及升降轴全闭环控制，实现FOUP精准定位
• 非接触供电系统，无灰尘粒子产生
• 高性能聚氨酯轮胎，低噪音、低发尘、长寿命
• 磁密封伸缩机械手臂，杜绝摩擦，杜绝产生灰尘粒子

• 供电方式：滑触线、非接触供电（可选择）
• 最大负载：20kg
• 驱动方式：伺服电机
• 行走运动：行走轮+直线导轨
• 行走速度（max）：2m/s
• 行走加速度（max）：1m/s²
• 提升运动：同步带+直线导轨
• 提升速度（max）：1.83m/s
• 提升加速度（max）：1.6m/s²

• 回转运动：3枢轴+谐波驱动
• 回转速度（max）：240°/s
• 回转加速度（max）：0.18m/s²
• FORK伸缩运动：3枢轴+谐波驱动
• FORK伸缩速度（max）：0.8m/s
• FORK伸缩加速度（max）：0.2m/s²
• 通讯方式：光通讯
• 货叉重复精度：±0.1mm