苏州盟萤电子科技有限公司
Morewin Technology CO., LTD.
首页 >> 产品中心 >> AMHS产品应用 >> N2 Puger Stocker
N2 Puger Stocker


主要使用往FOUP内充氮气需求存储。

Foup：半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器。
关键技术
  • 每组储位都可独立控制充氮气
  • 实现自动充放氮气
  • 先进的运动控制系统，走行轴及升降轴全闭环控制，实现FOUP精准定位
  • 洁净等级Class100