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Conveyor&OHCV


主要使用在半导体工厂载具输送，应对OHT,AGV,OP对接需求。


Foup：半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器。


关键技术
  • 振动值≤0.5G
  • 独立单元运行
  • 洁净等级百级或千级
    • Conveyor&OHCV




    产品特点及参数
  • 供电方式：AC220V
  • 最大负载：20kg
  • 驱动方式：无刷电机
  • 行走运动：同步轮同步带
  • 行走速度（max）：0.4m/s
  • 无尘等级：Class100-1000
  • 振动：≤0.5G

    • 直线CV


    产品特点及参数

    • 供电方式：AC220V
    • 最大负载：20kg
    • 驱动方式：无刷电机
    • 行走运动：同步轮同步带
    • 行走速度（max）：0.4m/s
    • 旋转方式：DD马达
    • 旋转时间（max）90°/s
    • 无尘等级：Class100-1000
    • 振动：≤0.5G

                  旋转CV


                  产品特点及参数

                  • 供电方式：AC220V
                  • 最大负载：20kg
                  • 驱动方式：无刷电机 伺服电机 滑台电缸
                  • X轴行走速度（max）：0.25m/s
                  • CV速度（max）：0.4m/s
                  • Z轴速度（max）：0.05m/s
                  • 无尘等级：Class100-1000
                  • 振动：≤0.5G

                                            OHT load port 对接CV


                                            产品特点及参数

                                            供电方式：AC220V
                                              最大负载：20kg
                                                驱动方式：无刷电机 滑台电缸
                                                  行走运动：同步轮同步带
                                                    行走速度（max）：0.4m/s
                                                      Z轴速度（max）：0.05m/s
                                                        无尘等级：Class100-1000
                                                          振动：≤0.5G

                                                                          OP 对接CV