主要使用在半导体，面板行业MASK （掩膜版）自动化搬运、存储、清洗、AOI检测实现MASK在曝光核心工艺之间流转。

• 全自动Mask(掩膜版）取放及搬运，实现Mask密集化存储
• RGV采用直角平移式换轨，节省空间
• 对接Mask存储库,实现AOI, 清洗，包装多工艺多流程全自动化作业
• 洁净等级 Class10@0.1μm

• 供电方式：滑触线、非接触供电（可选择）
• 最大负载：5kg
• 驱动方式：伺服电机
• 行走运动：齿轮齿条+直线导轨
• 行走速度（max）：1m/s
• 行走加速度（max）：0.8m/s²
• 回转运动：3枢轴+谐波驱动
• 通讯方式：漏波电缆
• 回转速度（max）：45°/s
• 回转加速度（max）：0.18m/s²
• FORK伸缩运动：3枢轴+谐波驱动
• FORK伸缩速度（max）：0.2m/s
• FORK伸缩加速度（max）：0.18m/s²
• 货叉重复精度：±0.5mm