EFEM

EFEM是一个晶圆前端传输设备，面向半导体生产制程中为各类制程设备做晶圆上 下料配套的前端工艺设备。

• 根据产能与工艺要求，选择不同 Port 数量框架，以及不同设备之间的连接方式
• 成熟稳定的控制软件，支持 SECS/GEM、E84、RFID 等标准协议和技术，支持 主/从 对接模式
•  SEMI-S2认证，高可靠性和高可用性
• 可根据用户的实际需求进行非标定制