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掩膜版存储库

  • 全自动Mask（掩膜版）取放及搬送，实现Mask密集化存储；
  • Mask低接触面积及防静电技术；
  • 洁净等级 Class 10;
G8彩膜掩膜版存储库
  • 负载 : 60kg

G8阵列掩膜版存储库
  •  负载 : 110kg