苏州盟萤电子科技有限公司
Morewin Technology CO., LTD.
蒸镀机Cooling冷板
- 冷板用于与基板贴合
- 冷板与基板贴合后,使电荷产生单元产生电荷,电荷接收单元存储电荷产生静电,使冷板静电吸附基板,从而使玻璃在静电的作用下,能够克服重力造成的自身下垂,使得蒸镀机的冷板和基板能够紧密贴合,减小混色不良的发生概率。
蒸镀机磁板
- 用于蒸镀机金属掩模板（FMM)张网定位&固定
- 磁力模拟技术
- 磁力高斯值测试技术
真空除静电改造
- 采用最新技术VUV Ionizer光照射式静电消除器
- 在真空中光照射到物体，整个范围可消除静电
Linear source及Point source的全套产品制作包含:
单独供应新品及升级后新品：点源用喷嘴、点源用喷嘴中板、点源用隔热屏、点源用发热体、点源用发热片、点源用钽坩埚、点源用钛坩埚、点源用ALN坩埚、点源用钼坩埚等；线源用发热体、钽坩埚、钛坩埚、坩埚盖、坩埚盖喷嘴、坩埚反射板、温度传感器等组件；提供点源source维修及OH更换，线源用发热体维修及OH更换等。
线形蒸镀源
- 使用大容量长方形crucible，可长时间量产运营(无需其他材料供应装置)
- 蒸镀 Uniformity : ≤ ± 2%
- 直角四边形形状的Sheath Heater、可用于各种OLED有机材料蒸镀
- Body(包括冷却水line)、Ti Crusible、角度限制板、Reflector
线源Source加热丝
Source线源加热丝目前我司可以提供Top Heater、Bottom Heater，异形Heater及各种定制品 。
线源Source坩埚
我们可以提供各种金属材料（Ti、Ta）等加工。
点源Source成品
- 适用圆筒形状的Sheath Heater
- Nozzle/ Crucible → Clogging/ Spitting 加固设计!!
- 可以长时间量产运营需要Feeder材料供应装置
- 蒸镀 Uniformity : ≤ ± 5%
- Heater加热性能好，耐久性高
- 蒸镀材料喷射效果佳
- 可用于各种金属材料（Ag / Mg / Yb等）蒸镀
点源Source坩埚
Source坩埚我们可以提供的材质有：钽坩埚、钛坩埚、PBN坩埚、ALN坩埚、钼坩埚、Sic坩埚等材质，适用于蒸镀机各个工艺，例如常见材料Mg\Ag\Yb等。
点源Source喷嘴
Source喷嘴我们可以提供的材质有：钽喷嘴、钛喷嘴、PBN喷嘴等材质，适用于蒸镀机各个工艺，例如常见材料Mg\Ag\Yb等。
点源Source加热丝
Mask Cassette
- Mask分层存储于卡匣(Cassette)之中，防止破碎
- 可根据产线需求设计不同的层数、尺寸、Type、间距等
- 具有低发尘性、防静电、强度高、轻量化、良好的振动衰减等优点
蒸镀机防着板
- 防着板设置于所述蒸镀腔内, 位于所述壳体与所述坩埚之间
- 包括支撑基板, 支撑基板具有一粗糙表面及一辐射热吸收层,设置于所述粗糙表面上.
- 根据使用部位不同，选用Ti or SUS材料制作
