面板尺寸:中型面板(G4~G6)
用专用双臂机械手将CST内的基板取放、收纳、移载等。可以实现CST的定位、玻璃基板等定位。
面板尺寸:大型面板(G8~)
利用专用C/V实现将CST内的玻璃基板取放、收纳、移载等功能。
专用C/V采用磁性驱动减少发尘源。
面板尺寸:大型玻璃面板(G6~G8)
利用6轴机器人将大型基板捆包、收纳。
CST大小:大型玻璃面板(G4~G8)
可搬重量:约500~1000kg
基板CST的搬送・移载装置。
・CST搬送输送线カセット搬送コンベア
・带有走行台车的CST移载装置
・CST定位装置